マイクロパターニングの化学物質耐性を教えてください。

以下の物質で耐性が確認できています。

・Methanol

・Ethanol

・Formaldehyde

・Acetone（蓋の部分）

・Silicone oil

※Mineral oil は使用できません。

 

イマージョンオイルは下記の資料に記載のものをご使用ください。

Immersion Oil